低溫等離子體是繼固態、液態、氣態之后的物質第四態，由電子、離子、自由基和中性粒子組成。低溫等離子體產品利用螺旋波低溫冷光技術產生的高能離子束和電子束形成的低溫等離子體，以每秒800萬次-5000萬次的速度反復轟擊異味氣體分子，去、電離、裂解廢氣中的各種成分，從而發生氧化等一系列的化學反應。等離子處理廢氣的原理如下：
1. 等離子通電后會形成一個1.5萬伏的高壓電場，廢氣在進入的時候被電離，分子鍵斷裂，廢氣分子被分解成高能電子。
2. 氧氣O2被電離成O- （游離態的氧原子），因游離氧所攜正負電子不平衡，所以需要與氧分子結合，進而產生臭氧O3。
3. 廢氣電子在O3 的作用下，被氧化成CO2 和H2O
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溫等離子體是繼固態、液態、氣態之后的物質第四態，當外加電壓達到氣體的 放電電壓時，氣體被擊穿，產生包括電子、各種離子、原子和自由基在內的混合體。放電過程中雖然電子溫度很高，但重粒子溫度很低，整個體系呈現低溫狀態，所以稱為低溫等離子體。低溫等離子體降解污染物是利用這些高能電子、自由基等活性粒子和廢氣中的污染物作用，使污染物分子在極短的時間內發生分解，并發生后續的各種反應以達到降解污染物的目的。(注：低溫等離子體相對于高溫等離子體而言，屬于常溫運行。)
等離子體反應區富含極高的物質，如高能電子、離子、自由基和激發態分子等，廢氣中的污染物質可與這些具有較高能量的物質發生反應，使污染物質在極短的時間內發生分解，并發生后續的各種反應以達到講解污染物的目的。與傳統的電暈放電形勢產生的低溫等離子技術相比較，等離子體技術放電密度是電暈放電的1500倍，這就是傳統低溫等離子體技術治理工業廢氣以失敗而告終的原因。
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其次，隨廢氣進入設備的水分子、氧分子被高壓擊穿斷裂，生成強氧化基團羥基、臭氧分子等。這些強氧化基團與廢氣分子充分接觸氧化，加快反應進程。整個反應干凈徹底，能量利用率高，凈化效率非常高。
等離子功能段可以激發污染物能量，促使長鏈、多鏈污染物分子的分子鍵斷裂重組，使難處理的污染物降解為較易處理的低碳污染物。
