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對退火后磷化銦中形成缺陷的機理進行了探討分析研究了一些缺陷對InP單晶襯底的影響。 深能級瞬態譜(DLTS),X射線衍射等方法分別研究了退火前后雙金屬復合耐磨管材料的性質和缺陷.結果表明受高溫熱激發作用部分鐵原子由替位轉變為填隙,導致InP材料缺少深能級補償中心而發生導電類型轉變.通過比較摻雜.擴散和離子注入過程Fe原子的占位和情況分析了這一現象的機理和產生原因. 包括雙金屬復合耐磨管團狀結構位錯的產生及其對晶格完整性的影響,坑狀缺陷、晶片拋光損傷和殘留雜質的清洗腐蝕等.對雙金屬復合耐磨管缺陷的形成原因和抑制途徑進行了分析.在此基礎上獲得了“開盒即用(EPI-READY)”、具有良好晶格完整性、表面無損傷的InP單晶襯底拋光片.高溫退火后摻鐵半絕緣(SI)InP單晶轉變為n型低阻材料.利用霍爾效應(Hall),熱激電流譜(TSC)。
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