SEM（掃描電子顯微鏡）元素成分分析是利用掃描電子顯微鏡結(jié)合能譜儀（EDS）對樣品中元素成分進行分析的方法。SEM-EDS技術(shù)可以提供樣品表面的形貌和元素分布信息，并能夠定性和定量地分析樣品中的元素成分。 在SEM-EDS分析中，首先使用掃描電子顯微鏡觀察樣品表面的形貌和微觀結(jié)構(gòu)。然后，通過EDS探測器收集樣品表面的X射線譜圖。當(dāng)電子束與樣品相互作用時，樣品中的元素會發(fā)射出特定能量的X射線。EDS探測器可以測量這些X射線的能量和強度，從而確定樣品中存在的元素。 SEM-EDS分析可以提供樣品中元素的定性信息，即確定樣品中存在的元素種類。通過比較樣品的X射線譜圖與已知元素的標(biāo)準(zhǔn)譜圖進行匹配，可以確定樣品中的元素成分。此外，通過測量X射線的強度，還可以進行元素的定量分析，即確定元素在樣品中的相對含量。 SEM-EDS元素成分分析廣泛應(yīng)用于材料科學(xué)、當(dāng)?shù)氐刭|(zhì)學(xué)、當(dāng)?shù)丨h(huán)境科學(xué)等領(lǐng)域。它可以用于材料的成分分析、當(dāng)?shù)厝毕莘治?、?dāng)?shù)仡w粒分析、當(dāng)?shù)氐V物學(xué)研究等方面。該技術(shù)具有非破壞性、當(dāng)?shù)馗叻直媛屎透哽`敏度的特點，為樣品的微觀表征和元素分析提供了有力的工具。