臺灣精密鋼管過程真空淬火真空淬火爐按冷卻方法分為油淬和氣淬兩類，按工位數分為單室式和雙室式，904山\畏嘲均屬周期式作業爐。真空油淬爐都是雙室的，后室置電加熱元件，前室的下方置油槽。工件完成加熱、臺灣保溫后移入前室，關閉中門后向前室充入惰性氣至大約2．66％26times；lO ～1．01％26times；10 Pa(200～760mm汞柱)，入油。油淬易引起工件表面變質。由于表面活性大，在短暫的高溫油膜作用下即可發生顯著薄層滲碳，此外，碳黑和油在表面的粘附對簡化熱處理流程很不利。真空淬火技術的發展主要在于研制性能優良、臺灣工位單一的氣冷淬火爐。前述雙室式爐亦可用于氣淬(在前室噴氣冷卻)，但雙工位式的操作使大批量裝爐的生產發生困難，也易在高溫移動中引起工件變形或改變工件方位增加淬火變形。單一工位的氣冷淬火爐是在加熱保溫完成后在加熱室內噴氣冷卻。氣冷的冷速不如油冷快，也低于傳統淬火法中的熔鹽等溫、臺灣分級淬火。因而，不斷提高噴冷室壓力，增大流量，以及采用摩爾質量比氮和氬小的惰性氣體氦和氫，是當今真空淬火技術發展的主流。70年代后期將氮氣噴冷的壓力從(1～2)％26times；10Pa提高到(5～6)％26times；10Pa，使冷卻能力接近于常壓下的油冷。80年代中期出現超高壓氣淬，用(10～20)％26times；10Pa的氦，冷卻能力等于或略高于油淬，已進入工業實用。90年代初采用40％26times；10Pa的氫氣，接近水淬的冷卻能力，尚處于起步階段。工業發達 已進展到以高壓(5～6)％26times；10。Pa氣淬為主體，而中國產氣淬一些金屬的蒸氣壓(理論值)與溫度的關系則尚處于一般加壓氣淬(2％26times；10Pa)型階段。