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低溫等離子體技術是近年發展起來的廢氣處理新技術，低溫等離子體處理廢氣的原理為：當外加電壓達到氣體的放電電壓時，氣體被擊穿，產生包括電子、各種離子、原子和自由基在內的混合體。低溫等離子體降解污染物是利用這些高能電子、自由基等活性粒子和廢氣中的污染物作用，使污染物分子在極短的時間內發生分解，以達到降解污染物的目的。
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低溫等離子體是繼固態、液態、氣態之后的物質第四態，當外加電壓達到氣體的放電電壓時，氣體被擊穿，產生包括電子、各種離子、原子和自由基在內的混合體。放電過程中雖然電子溫度很高，但重粒子溫度很低，整個體系呈現低溫狀態，所以稱為低溫等離子體。低溫等離子體降解污染物是利用這些高能電子、自由基等活性粒子和廢氣中的污染物作用，使污染物分子在極短的時間內發生分解，并發生后續的各種反應以達到降解污染物的目的。（注：低溫等離子體相對于高溫等離子體而言，屬于常溫運行。）
等離子態等離子態：等離子狀態，是指物質原子內的電子在高溫下脫離原子核的吸引，使物質呈正負帶電粒子狀態存在。 在茫茫無際的宇宙空間里，等離子態是一種普遍存在的狀態。宇宙中大部分發光的星球內部溫度和壓力都很高，這些星球內部的物質差不多都處于等離子態。只有那些昏暗的行星和分散的星際物質里才可以找到固態、液態和氣態的物質。就在我們周圍，也經常看到等離子態的物質。在日光燈和霓虹燈的燈管里，在眩目的白熾電弧里，都能找到它的蹤跡。另外，在地球周圍的電離層里，在美麗的極光、大氣中的閃光放電和流星的尾巴里，也能找到奇妙的等離子態。 概念：當這種電離過程頻繁發生，使電子和離子的濃度達到一定的數值時，物質的狀態也就起了根本的變化，它的性質也變得與氣體完全不同．為區別于固體、液體和氣體這三種狀態，我們稱物質的這種狀態為物質的第四態，又起名叫等離子態。
