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低溫等離子體是繼固態(tài)、液態(tài)、氣態(tài)之后的物質(zhì)第四態(tài)，當(dāng)外加電壓達(dá)到氣體的放電電壓時，氣體被擊穿，產(chǎn)生包括電子、各種離子、原子和自由基在內(nèi)的混合體。放電過程中雖然電子溫度很高，但重粒子溫度很低，整個體系呈現(xiàn)低溫狀態(tài)，所以稱為低溫等離子體。低溫等離子體降解污染物是利用這些高能電子、自由基等活性粒子和廢氣中的污染物作用，使污染物分子在極短的時間內(nèi)發(fā)生分解，并發(fā)生后續(xù)的各種反應(yīng)以達(dá)到降解污染物的目的。（注：低溫等離子體相對于高溫等離子體而言，屬于常溫運行。）
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溫等離子體技術(shù)在氣態(tài)污染物治理方面優(yōu)勢顯著。其基本原理是在電場的加速作用下，產(chǎn)生高能電子，當(dāng)電子平均能量超過目標(biāo)治理物分子化學(xué)鍵能時，分子鍵斷裂，達(dá)到氣態(tài)污染物的目的。
噴漆廢氣中的三苯濃度一般低于300mg/m3低濃度、大風(fēng)量的有機(jī)廢氣治理，采用催化燃燒法(適用于濃度大于500mg/m3)處理不合適,所以只能用低溫等離子廢氣處理設(shè)備來處理這種類型的工業(yè)廢氣。(適應(yīng)于家具廠、鞋廠、五金廠、電子廠、工藝品廠、印染廠、塑料制品廠等等)同樣，等離子技術(shù)處理涂裝系統(tǒng)廢氣，油墨廢氣，高壓靜電式的印刷印染廢氣都有
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