低溫等離子體是繼固態、液態、氣態之后的物質第四態，由電子、離子、自由基和中性粒子組成。低溫等離子體產品利用螺旋波低溫冷光技術產生的高能離子束和電子束形成的低溫等離子體，以每秒800萬次-5000萬次的速度反復轟擊異味氣體分子，去、電離、裂解廢氣中的各種成分，從而發生氧化等一系列的化學反應。等離子處理廢氣的原理如下：

1. 等離子通電后會形成一個1.5萬伏的高壓電場，廢氣在進入的時候被電離，分子鍵斷裂，廢氣分子被分解成高能電子。

2. 氧氣O2被電離成O- （游離態的氧原子），因游離氧所攜正負電子不平衡，所以需要與氧分子結合，進而產生臭氧O3。

3. 廢氣電子在O3 的作用下，被氧化成CO2 和H2O

低溫等離子廢氣處理設備的詳細介紹：

一、低溫等離子廢氣處理設備利用特制的高能高臭氧UV紫外線光束照射惡臭氣體，改變惡臭氣體,在高能紫外線光束照射下，降解轉變成低分子化合物，如CO2、H2O等。

二、利用高能高臭氧UV紫外線光束分解空氣中的氧分子產生游離氧，即活性氧，因游離氧所攜正負電子不平衡所以需與氧分子結合，進而產生臭氧。

UV＋O2→O- O＊(活性氧)O O2→O3(臭氧),眾所周知臭氧對有機物具有極強的氧化作用，對惡臭氣體及其它刺激性異味有立竿見影的效果。

三、低溫等離子廢氣處理設備惡臭氣體利用排風設備輸入到本凈化設備后，凈化設備運用高能UV紫外線光束及臭氧對惡臭氣體進行協同分解氧化反應，使惡臭氣體物質其降解轉化成低分子化合物、水和二氧化碳，再通過排風管道排出室外。

四、利用高能UV光束裂解惡臭氣體中細菌的分子鍵，破壞細菌的核酸（DNA），再通過臭氧進行氧化反應，徹底達到脫臭目的體機凈化設備是一種專門去除有毒有害氣體及惡臭氣體的一種裝置。它具有率、運行成本低、設備占地面積小，自重輕、無任何機械動作，無噪音等特點，等離子光解一體機凈化設備凈化效率高。

五、適用范圍：等離子光解一體機凈化設備主要運用于油漆噴涂、造紙頁、制藥業、輪胎及橡膠生產廠、汽車生產、污水處理、污泥廢氣處理、垃圾處理廢氣、皮革業、印刷廠、香料生產業、飼料及飼養場、農藥生產等多個領域的有毒有害氣體、異味和惡臭處理。涉及氣體物質多達900多種，主要包括：氨氮類、硫醇類、硫醚類、吲哚類、苯類、硝基類、烴類以及醛類等類別。

六、反應原理

低溫等離子廢氣處理設備當廢氣進入等離子光解一體機凈化設備內時，先經過等離子體化學反應過程，即電子首先從電場獲得能量，通過激發或電離將能量轉移到分子或原子中去，獲得能量的分子或原子被激發，同時有部分分子被電離， 從而成為活性基團；之后這些活性基團與分子或原子、活性基團與活性基團之間相互碰撞后生成穩定產物和熱。