現在國內根據低溫等離子體工業廢氣處理技術研發出相應的標準化廢氣治理設備，歸于根本是利用一些化學反應的化學鍵拆分，得到無害的氣體分子，從而達到環保排放煙氣的標準要求。具體是利用所產生的高能電子、自由基等活性粒子、電離、裂解工業廢氣中的各組成份，使之發生分解，氧化等一些列復雜的化學反應，再經過多級凈化，從而各種污染源排放的異味、臭味污染物，使有毒有害氣體達到低毒化、化，保護人類生存環境。

低溫等離子體技術應用范圍廣，氣體的流速和濃度對于氣態污染物治理技術應用來說是兩個非常重要的因素。生物過濾和燃燒技術能應用于較高濃度范圍，但卻受氣體的流速所限。而低溫等離子體技術對氣體的流速和濃度都有一個很寬的應用范圍，低溫等離子設備其應用廣泛不言而喻。等離子體技術工藝簡單。吸附法要考慮吸附劑的定期更換，脫附時還有可能造成二次污染；http://www.wzyihong.com燃燒法需要很高的操作溫度；生物法要嚴格控制pH值、溫度和濕度等條件，以適合生物的生長。而低溫等離子體技術則較好的克服了以上技術的不足，反應條件為常溫常壓，反應器結構簡單，低溫等離子設備并可同時混合污染物(有些情況還具有協同作用)，不會產生二次污染等。就經濟可行性來說，低溫等離子體反應裝置本身系統構成就單一緊湊，在運行費用方面，觀來講，因放電過程只提高電子溫度而離子溫度基本保持不變，這樣反應體系就得以保持低溫，低溫等離子設備所以不僅能量利用率高，而且使設備維護費用也很低。

低溫等離子廢氣處理設備的詳細介紹：

一、低溫等離子廢氣處理設備利用特制的高能高臭氧UV紫外線光束照射惡臭氣體，改變惡臭氣體,在高能紫外線光束照射下，降解轉變成低分子化合物，如CO2、H2O等。

二、利用高能高臭氧UV紫外線光束分解空氣中的氧分子產生游離氧，即活性氧，因游離氧所攜正負電子不平衡所以需與氧分子結合，進而產生臭氧。

UV＋O2→O- O＊(活性氧)O O2→O3(臭氧),眾所周知臭氧對有機物具有極強的氧化作用，對惡臭氣體及其它刺激性異味有立竿見影的效果。

三、低溫等離子廢氣處理設備惡臭氣體利用排風設備輸入到本凈化設備后，凈化設備運用高能UV紫外線光束及臭氧對惡臭氣體進行協同分解氧化反應，使惡臭氣體物質其降解轉化成低分子化合物、水和二氧化碳，再通過排風管道排出室外。

四、利用高能UV光束裂解惡臭氣體中細菌的分子鍵，破壞細菌的核酸（DNA），再通過臭氧進行氧化反應，徹底達到脫臭目的體機凈化設備是一種專門去除有毒有害氣體及惡臭氣體的一種裝置。它具有率、運行成本低、設備占地面積小，自重輕、無任何機械動作，無噪音等特點，等離子光解一體機凈化設備凈化效率高。

五、適用范圍：等離子光解一體機凈化設備主要運用于油漆噴涂、造紙頁、制藥業、輪胎及橡膠生產廠、汽車生產、污水處理、污泥廢氣處理、垃圾處理廢氣、皮革業、印刷廠、香料生產業、飼料及飼養場、農藥生產等多個領域的有毒有害氣體、異味和惡臭處理。涉及氣體物質多達900多種，主要包括：氨氮類、硫醇類、硫醚類、吲哚類、苯類、硝基類、烴類以及醛類等類別。

六、反應原理

低溫等離子廢氣處理設備當廢氣進入等離子光解一體機凈化設備內時，先經過等離子體化學反應過程，即電子首先從電場獲得能量，通過激發或電離將能量轉移到分子或原子中去，獲得能量的分子或原子被激發，同時有部分分子被電離， 從而成為活性基團；之后這些活性基團與分子或原子、活性基團與活性基團之間相互碰撞后生成穩定產物和熱。