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光氧廢氣處理設備氣體分子被擊穿，產生包括電子、各種離子、原子和自由基在內的混合體。放電過程中雖然電子溫度很高，但重粒子溫度很低，整個體系呈現低溫狀態，所以稱為低溫等離子體。低溫等離子體降解污染物是利用這些高能電子、自由基等活性粒子和廢氣中的污染物作用，使污染物分子在極短的時間內發生分解，并發生后續的各種反應以達到降解污染物的目的。 光氧廢氣處理設備 特點：① 采用單級或多級串聯洗滌，對污染物去除徹底，去除效率高。② 處理高濃度惡臭廢氣具有明顯優勢，運行穩定。③ 具有啟動速度快、可間歇運行、耐沖擊負荷強、受溫度影響小、運行穩定等特點。④ 自動化程度高，占地面積小,化學洗滌除臭設備適用于污水處理廠、制藥廠、化工廠等具有堿性或酸性且濃度比較高的尾氣治理。活性炭除臭設備采取切線出風、環狀過濾、中間進風、上不加料、下部卸料的結構，克服了傳統的活性炭過濾器過濾阻力大、面積小、占地面積大、設備投資高、更換活性炭困難等缺陷，使活性炭過濾設備結構設計近乎于完美。
把有機廢氣加熱升溫至800℃，使廢氣中的VOC氧化分解，成為無害的CO2和H2O；氧化時的高溫氣體的熱量被蓄熱體“貯存”起來，用于預熱新進入的有機廢氣，從而節省升溫所需要的燃料消耗，降低運行成本。有機廢氣經高壓引風機進入蓄熱室的保留了上一循環熱量的陶瓷介質層后，陶瓷釋放熱量，溫度降低，而有機廢氣吸收熱量，溫度升高。廢氣離開蓄熱室后，以較高的溫度進入燃燒室，準備進行氧化。 在燃燒室中，有機廢氣再由燃燒器加熱燃燒，加熱升溫至設定的氧化溫度，此時溫度為設定的800℃，使有機物被分解成二氧化碳和水。由于廢氣已在蓄熱室內進行過預熱，燃燒器的燃料用量大為減少。廢氣流經蓄熱室升溫后進入氧化室焚燒，成為凈化后的高溫氣體后離開氧化室，進入在上一循環已冷卻的蓄熱室。在此氣體釋放熱量，降溫后排出，而蓄熱室吸收大量熱量后升溫，其吸收的熱量用于下一個循環加熱廢氣。在此同時，廢氣引風機經由反吹風管，從蓄熱室抽出少許前一循環殘留在其中的微量有機氣體，回送至廢氣風機進口處，再送入燃燒室中進行焚燒，此部分氣體同處理后氣體一起離開蓄熱室，經熱回收設備排入大氣。 是目前成熟、穩定、有效的有機廢氣處理設備，采用提高前輩的熱交換技術和新型蜂窩陶瓷蓄熱材料，提高前輩的換熱系統保證了氧化分解熱量的有效回收，熱回收率95%以上，VOC凈化率99%以上，在有機廢氣凈化領域具有很大的技術上風。
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蓄熱式催化燃燒裝置，再通過催化床的作用，使有機廢氣分解成二氧化碳和水，再進入換熱器與低溫氣體進行熱交換，使進入的氣體溫度升高達到反應溫度。如達不到反應溫度，加熱系統科通過自控系統實現補償加熱。利用催化劑做中間體，使有機氣體在較低的溫度下，變成無害的水和二氧化碳氣體。設備 蓄熱式催化燃燒裝置 先將有機廢氣用活性炭吸附，當快達到飽和時停止吸附，然后用熱氣流將有機物從活性炭上脫附下來使活性炭再生；脫附下來的有機物已被濃縮（濃度較原來提高幾十倍）并送往催化燃燒室催化燃燒成二氧化碳及水蒸氣排出。當有機廢氣的濃度達到2000PPm以上時，有機廢氣在催化床可維持自燃，不用外加熱。燃燒后的尾氣一部分排入大氣，大部分被送往吸附床，用于活性炭再生，這樣可滿足燃燒和吸附所需的熱能，達到節能的目的，再生后的可進入下次吸附；在脫附時，凈化操作可用另一個吸附床進行，既適合于連續操作，也適合于間斷操作。 吸附脫附催化燃燒主要用于涂裝、印刷、機電、家電、制鞋、塑料及各種化工車間里揮發或泄漏出的有害有機廢氣的凈化及臭味的，適用于較低濃度的、不宜采用直接燃燒或催化燃燒和吸附回收處理的有機廢氣，尤其對大風量的處理場合，均可獲得滿意的經濟效益和社會效益。
